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本发明提供一种线圈垂直位置可动态调整的蚀刻机结构,其包括:第一电浆反应腔体,其具有第一反应腔室;多个第一升降模块,又每一第一升降模块,其具有:第一支撑件,其环绕固设于第一反应腔室的外围;及多个第一升降件,其上、下滑动结合于第一支撑件上;以及第一线圈模块,其固设于第一升降件。借由本发明的实施,可以动态的完成反应腔室壁体上,各不同部位沉积物的清理。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112863984 A
(43)申请公布日
2021.05.28
(21)申请号 20191
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