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收纳装置及基板加工装置.pdfVIP

收纳装置及基板加工装置.pdf

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    一种收纳装置(100)，其为了从将多个基板(W)以能够抽出的方式层叠而收容的盒(10、20)中将基板(W)抽出以供于处理工序，而对盒(10、20)进行收纳，该收纳装置(100)具备：载置部(110)，其供盒(10、20)以能够装卸的方式载置；移动部(120)，其使载置部(110)在盒(10、20)的装卸位置与盒(10、20)的收纳位置之间水平地移动；以及限制部(130)，其能够升降地支承于载置部(110)，并与在载置部(110)载置的盒(10、20)的里侧的端面对置。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112889143 A (43)申请公布日 2021.06.01 (21)申请号 201980036027.7 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任

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