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本发明涉MEMS音频转换器、用于所述MEMS音频转换器的转换单元(2)及其制造方法。所述转换单元包括：载体(4)；至少一个转换元件(5)，其与所述载体(4)连接且可沿升降轴(H)偏转；用于将转换元件(5)和与转换元件(5)隔开的膜片(3)连接在一起的耦合元件(13)，其可沿所述升降轴(H)运动；和构建在所述转换元件(5)与所述耦合元件(13)之间的弹簧区域(14)，其具有至少一个弹簧元件(15，30)，所述弹簧元件将所述转换元件(5)与所述耦合元件(13)可移动式连接在一起，且所述弹簧区域具有阻
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116233710 A
(43)申请公布日 2023.06.06
(21)申请号 202211404447.6
(22)申请日 2022.11.10
(30)优先权数据
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