有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共6页，其中可免费阅读5页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种甲基三氯硅烷的利用系统，甲基三氯硅烷和无水甲醇在反应塔内反应生成含甲醇的氯化氢气体和甲基三甲氧基硅烷；含甲醇的氯化氢气体通过冷却单元除去大部分甲醇后通过脱醇单元制得氯化氢干燥气体；单质硅和氯化氢干燥气体在三氯氢硅制备组件中反应生成三氯氢硅，从而提供半导体材料的晶圆；甲基三甲氧基硅烷与水、酸和碱在反应釜中反应生成球形聚甲基硅氧烷的悬浮液，球形聚甲基硅氧烷的悬浮液分离得到滤饼，滤饼在氧化氛围下加热得到球形二氧化硅，从而提供半导体材料的封装填料。通过本发明的甲基三氯硅烷的利用系统，直接法
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112850717 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202110327655.X
(22)申请日 2021.03.26
(71)申请人 浙江
文档评论（0）