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本发明公开了一种真空泵安全监测方法和装置,其中,所述方法包括:获得第一温度信息,获得第二温度信息,获得第三温度信息;将所述第一环境温度信息、所述第一环境气压信息和所述抽真空系统中各真空泵的等级信息输入温度阈值模型,分别获得第一级温度阈值、第二级温度阈值和第三级温度阈值;分别判断所述温度信息是否超过所述级温度阈值;如果所述第一温度信息、所述第二温度信息和所述第三温度信息中至少有两个超出与其对应的温度阈值,获得第一报警信息;根据所述第一报警信息,对所述抽真空系统进行处理。解决了现有技术存在真空泵长期
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112855515 B
(45)授权公告日 2022.01.28
(21)申请号 202110268505.6 (56)对比文件
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