光刻胶倒梯形结构的形成方法.pdfVIP

下载本文档

14
0
约1.02万字
约 10页
2023-06-08 发布于四川
举报
版权申诉

光刻胶倒梯形结构的形成方法.pdf

1、本文档共10页，其中可免费阅读9页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开一种光刻胶倒梯形结构的形成方法，所述光刻胶倒梯形结构的形成方法包括以下步骤：在基板上涂覆正性光刻胶，形成胶层；将所述胶层划分为光阻区和暴露区，得到待光刻结构，其中，所述光阻区在朝向所述基板的方向上渐宽设置，所述暴露区在朝向所述基板的方向上呈渐窄设置；对设有所述待光刻结构进行处理，以使所述暴露区转化为碱性不可溶结构，得到半成品；将所述光阻区转化为碱性可溶结构后，显影除去所述光阻区，得到光刻胶倒梯形结构。本发明提供的光刻胶倒梯形结构的形成方法旨在解决现有光刻胶倒梯形结构制备方法难以控制坡度

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112882343 A (43)申请公布日 2021.06.01 (21)申请号 202110059558.7 (22)申请日 2021.01.15 (71)申请人广州爱思威科技股份有限公司

您可能关注的文档

文档评论（0）

知识产权出版社 + 关注: 官方认证

文档贡献者

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

咨询Ta 进入空间

认证主体北京中献电子技术开发有限公司

IP属地四川

统一社会信用代码/组织机构代码: 91110108102011667U

1亿VIP精品文档

更多 >

光刻胶倒梯形结构的形成方法.pdfVIP