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真空干燥装置.pdfVIP

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    本申请提供一种真空干燥装置，该真空干燥装置包括箱体、设置于箱体内侧的底部并用于承载和加热该显示基板的加热机构、与加热机构相对设置的冷凝板、与箱体连接的用于将箱体内的气体抽取至箱体外侧的抽气机构以及设置于冷凝板靠近加热机构的一侧的热喷机构，热喷机构用于向冷凝板靠近加热机构的一侧表面喷射加热气体，以去除附着在冷凝板靠近加热机构的一侧表面上的液滴，从而避免冷凝板上的液滴掉落至显示基板的子像素单元内，使得显示基板的各子像素单元中墨水材料干燥后成膜的膜厚一致，以此提高制备形成的发光二极管的发光效率和使用寿

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112848701 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110015990.6 (22)申请日 2021.01.07 (71)申请人 深圳市华星光电半导体显示技术有

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