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本发明涉及一种高纯三氟化氮气体的充装装置，属于气体充装技术领域。所述装置包括通过管路依次连接的NF3气体暂存装置、低压过滤器、隔膜压缩机、高压过滤器和充装汇流排，充装汇流排的出口与待充装压力容器，NF3气体暂存装置与低压过滤器的连接管路、低压过滤器与隔膜压缩机的连接管路、隔膜压缩机与高压过滤器的连接管路、高压过滤器与充装汇流排之间均设置有阀门，所述阀门用于控制管路的开闭。通过使用低压、高压过滤器对NF3气体进行双重过滤，有效地降低了NF3气体中的金属粒子含量，从而降低了充装过程中因金属粒子与气瓶
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112879796 A
(43)申请公布日
2021.06.01
(21)申请号 20191
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