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一种溅镀沉积设备的晶圆夹具.pdfVIP

一种溅镀沉积设备的晶圆夹具.pdf

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    本发明公开了一种溅镀沉积设备的晶圆夹具，在溅镀沉积工艺过程中用于承托一晶圆，所述晶圆夹具呈一圆环形，所述晶圆夹具外圈设有一组螺孔，用以将晶圆夹具固定于溅镀沉积设备上，所述晶圆夹具的内圈向环形中间处延伸有多个延伸托座，所述延伸托座用于放置上述晶圆，所述晶圆夹具内圈靠近延伸托座处为一沟槽区，该沟槽区布满沟槽。通过在晶圆夹具靠近放置晶圆的表面处设有沟槽，除了增加材料的附着面积外，沟槽的设计还预留材料表面热变形的空间，降低因应力发生的剥落。延长了晶圆夹具的生产使用周期，从而降低设备清洁次数，提高设备的使

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112864083 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110249255.1 (22)申请日 2021.03.08 (71)申请人 泰杋

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