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本申请涉及一种离子源安装结构及真空设备，离子源安装结构包括：固定离子源的连接板，连接板通过滑动系统连接在真空腔体的面板上；连接板上设有提升机构，用于提升连接板相对于面板滑动运动；离子源通过旋转结构与连接板连接，用于将离子源相对于连接板翻转一角度，将离子源转向至设定位置；该技术方案，通过固定离子源的连接板、提升机构、滑动系统以及旋转结构；在需要对离子源进行维护/维修时，通过提升机构提升连接板。连接板在滑动系统导向下相对于面板提升一定距离，然后并将离子源绕旋转结构翻转一角度，将离子源转向至设定位置；
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112885697 B
(45)授权公告日 2022.07.19
(21)申请号 202110034534.6 (74)专利代理机构 广州市律帆知识产权代理事
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