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2023-06-08 发布于四川
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一种基于可调谐FPI的中红外气体测量方法及装置.pdf

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本发明提供了一种基于可调谐FPI的中红外气体测量方法，包括如下步骤：(1)同步控制光源的调制频率和探测器端的解调设置；其中，光源发射光束，通过控制可调谐FPI的驱动电压改变FPI腔长，实现可调谐的干涉滤光效果；再利用探测器接收滤波后的调制光束，得到光谱扫描；(2)获取探测器的暗光谱，测得光源的灯谱数据和待测气体的光谱数据；(3)使用DOAS技术，得到去除干扰气体影响的实际待测气体浓度。本发明还提供了一种基于可调谐FPI的中红外气体测量装置。本发明的以较低成本和较小的仪器尺寸实现相应的检测功能，也

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112858206 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110043487.1 (22)申请日 2021.01.13 (71)申请人中国科学院合肥物质科学研究院

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