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本发明公开了一种金属有机化学气相沉淀设备，包括反应壳，所述反应壳采用封闭的壳体，所述反应壳的底端外侧固定连接有多个支撑脚，所述反应壳的顶端固定且连通有气管，所述反应壳的内壁上固定连接有支撑杆，且支撑杆水平设置，所述支撑杆远离反应壳的一端固定连接有用于气相沉淀的反应托盘，所述反应托盘采用中空的矩形结构，所述反应托盘的顶端开设有开口。本发明通过设置升降机构，驱动第二减速电机，第二减速电机带动输出端的蜗杆转动，蜗杆进而带动与之啮合的蜗轮转动，蜗轮带动螺母转动，螺母带动螺杆上下运动，螺杆为升降机构的输出
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112853310 B
(45)授权公告日 2022.03.22
(21)申请号 202110025494.9 C23C 16/44 (2006.01)
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