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本发明公开一种半导体工艺设备中的传输腔室及半导体工艺设备，所述传输腔室的上盖板(200)上开设有安装孔(210)，所述安装孔(210)中密封设置有观察窗组件(100)，所述观察窗组件(100)包括基座(110)、透明件(120)和压环(130)；所述安装孔中设置有承载台(220)，所述基座(110)呈环形，设置在所述承载台(220)上，并与所述承载台(220)连接；所述压环(130)与所述基座(110)连接，所述透明件(120)夹持于所述基座(110)与所述压环(130)之间。上述方案能够解决观
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112864053 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202110104954.7
(22)申请日 2021.01.26
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
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