多轴自由曲面光学元件的抛光设备及工作方法.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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多轴自由曲面光学元件的抛光设备及工作方法.pdf

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公开了多轴自由曲面光学元件的抛光设备及工作方法，床身水平放置，待加工工件通过夹具水平放置在高精度转台上，因此利于定位和装夹，提高了加工效率，降低了装夹难度和装夹造成的变形，可以加工大口径自由曲面光学元件；高精度转台相对于床身能沿X轴移动并围绕C轴旋转，多轴自由曲面抛光装置在横梁上能沿Y轴和Z轴两个方向移动，并能围绕平行于X轴的A轴和平行于Y轴的B轴进行伺服旋转，基于确定性修形方法，因此可以对经过超精密车削和磨削的光学元件进行进一步的修形，能够实现优于传统机械加工的精度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112847017 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110259024.9 B24B 47/12 (2006.01) (22)申请日 2

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