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本发明提供了一种激光结合HF湿刻蚀加工TGV通孔的工艺，包括A、利用激光在玻璃晶圆上预设小孔；B、将玻璃晶圆放入装有HF溶液的容器，将容器放入超声设备中，开启超声设备，利用HF溶液将玻璃晶圆上的小孔腐蚀至需要的直径；C、取出玻璃晶圆，用去离子水清洗干净；D、检测玻璃通孔的孔径和通透性。通过激光诱导作用，可采用HF溶液刻蚀出孔径小于或等于50μm的圆孔，效率高，且通孔内壁光滑，锥度小，通孔密度可大于2500个/cm2，可有效减小玻璃晶圆的尺寸。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112864026 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202110307378.6
(22)申请日 2021.03.23
(71)申请人 成都迈科科技有限公司
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