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本发明公开了一种带场板的金刚石场效应晶体管及其制备方法,包括:氢终端金刚石衬底,栅介质层,钝化介质层和带有场板结构的栅电极;所述氢终端金刚石衬底上设有源极电极和漏极电极,所述源极电极和漏极电极和之间为沟道区域,所述栅介质层设置在沟道区域上,所述栅电极设置在栅介质层上,所述钝化介质层设置在栅介质上,位于栅电极的栅脚的两侧。本项发明不仅可以有效降低边缘峰值电场,提升器件的击穿电压,还能提升器件的高温稳定性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112864235 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202110116292.5 H01L 21/336 (2006.01)
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