一种基于深度学习和提拉法的氧化镓的质量预测方法、制备方法及系统.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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一种基于深度学习和提拉法的氧化镓的质量预测方法、制备方法及系统.pdf

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本发明公开了一种基于深度学习和提拉法的氧化镓的质量预测方法、制备方法及系统，质量预测方法包括步骤：获取提拉法制备氧化镓单晶的制备数据，所述制备数据包括籽晶数据、环境数据以及控制数据；对所述制备数据进行预处理，得到预处理制备数据；将所述预处理制备数据输入训练好的神经网络模型，通过所述训练好的神经网络模型得到所述氧化镓单晶对应的预测质量数据。本发明可通过训练好的神经网络模型对氧化镓单晶的质量进行预测，因此可以调整制备数据得到需要的氧化镓单晶的性能，使得氧化镓单晶的性能得到优化。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112853470 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202011639094.9 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人杭州富加镓业科技有限公司

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