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2023-06-08 发布于四川
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一种制备红外复合材料的方法和真空化学气相沉积炉.pdf

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本发明公开了一种制备红外复合材料的方法和真空化学气相沉积炉，其中，所述方法包括在同一真空化学气相沉积炉内连续沉积ZnSe和ZnS，将装有固体锌料的坩埚加热至500～750℃，使锌升华产生锌蒸汽，然后将沉积室加热至650～800℃，通入硒化氢，开始沉积ZnSe，沉积完成后，停止通入硒化氢，沉积室降温至600～750℃，通入硫化氢气体，开始沉积ZnS，整个沉积过程载流气体的流量保持不变，沉积完成后进行升温退火处理，出炉即得ZnSe/ZnS红外复合材料。本发明有效缩短了ZnSe/ZnS红外复合材料的生

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112853312 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202011645398.6 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人广东先导先进材料股份有限公司

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