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本发明公开了一种制备红外复合材料的方法和真空化学气相沉积炉,其中,所述方法包括在同一真空化学气相沉积炉内连续沉积ZnSe和ZnS,将装有固体锌料的坩埚加热至500~750℃,使锌升华产生锌蒸汽,然后将沉积室加热至650~800℃,通入硒化氢,开始沉积ZnSe,沉积完成后,停止通入硒化氢,沉积室降温至600~750℃,通入硫化氢气体,开始沉积ZnS,整个沉积过程载流气体的流量保持不变,沉积完成后进行升温退火处理,出炉即得ZnSe/ZnS红外复合材料。本发明有效缩短了ZnSe/ZnS红外复合材料的生
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112853312 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202011645398.6
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 广东先导先进材料股份有限公司
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