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一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器.pdfVIP

一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器.pdf

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    本发明属于自动控制技术和电力电子技术领域，具体涉及一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器。当电源输出高频脉冲时，该电弧检测器通过不断采样电源输出脉冲占空比内的电感电流值，并计算出电感电流变化斜率，这样在电弧产生的初期，电弧电流开始爬升，该控制器就已侦测到电弧，然后迅速的关断电源的输出能量，减小电弧能量。由于该电弧检测器采用直接采样电感电流并快速计算电流变化率的方法，能在电弧电流爬升的初期检测到电弧的发生，能更快的关断电源输出，从而能更有效的抑制住电弧能量并灭掉电弧，提高了镀膜质量、产品成品率和生

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112921294 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 20191

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