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本发明公开了一种薄膜电感器的制作方法，该方法为：在玻璃衬底上布置一层金属层；在金属层上覆上一层光刻胶；光刻胶在曝光后被显影液溶解，使用光波穿过光掩膜照射在光刻胶上，对光刻胶进行选择性曝光；然后使用显影液溶解掉被照射的区域进行溶解，形成螺旋电感图形就呈现在光刻胶上，对衬底进行选择性的刻蚀过程，未被溶解的光刻胶将保护不被改变；再通过电镀工艺，把金电镀到金属层上，然后，去除光刻胶，最后激光划片分割开获得单片产品。本发明通过采用平面螺旋结构来降低电感的高度，进而缩小尺寸；通过调节平面螺旋电感的线宽、线间
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115719674 A
(43)申请公布日 2023.02.28
(21)申请号 202211327915.4
(22)申请日 2022.10.27
(71)申请人 贵阳顺络迅达电子有限公司
地址 5
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