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本申请公开了一种应用于射频电源的阻抗匹配调节方法和装置，采集阻抗匹配网络和负载之间的入反射波，根据入射波和反射波的幅值和相角判断阻抗是否匹配，若否，则获取幅值差异电压和相角差异电压，根据幅值差异电压和相角差异电压获取控制信号，并将其输入到受控电流源得到控制电流；通过控制电流增加磁芯的磁感应强度，进而增加磁芯的饱和程度，影响磁芯的有效磁导率，使得阻抗匹配网络中绕在该磁芯上的电感的电感值发生变化，进而改变阻抗匹配网络的阻抗，解决了现有技术采用伺服步进电机或控制并联电容的数量以改变匹配箱中的电容值来实
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112929002 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 202110162778.2
(22)申请日 2021.02.05
(71)申请人 广东工业大学
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