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本发明公开了一种基于网状阳极结构的小型化真空弧离子源，包含阴极、绝缘层、阳极、扩张杯和引出栅网，阴极和阳极或者阴极与触发单极之间通过绝缘层表面的高压闪络的方式产生阴极斑和初始等离子体，所述初始等离子体扩散实现阴阳极导通，产生高密度等离子体，在高密度梯度的作用下，所述高密度等离子体通过所述阳极孔和网状结构扩散到扩张杯中。本发明通过一个具有网状结构和阳极孔的阳极增大阴阳极之间的主弧放电效率，增大等离子体的扩散效率，进而提高离子的引出比例，同时本发明采用和阴极材料相同的金属或者合金材料，有效的降低了引
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112928002 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 202110100921.5
(22)申请日 2021.01.26
(71)申请人 中科石金（安徽）中子技术有限公司
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