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2023-06-10 发布于四川
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一种偏滤器第一壁的封闭式V型锐角结构.pdf

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本发明公开了一种偏滤器第一壁的封闭式V型锐角结构，包括有靶板、返流板和冷却水管；所述的靶板和返流板为平板型结构，均包括依次相连的钨层、铜层、铬锆铜层、不锈钢层和不锈钢盖板，铬锆铜层、不锈钢层及不锈钢盖板组合形成具有超汽化冷却水道的热沉，在热沉内部铬锆铜层和不锈钢层加工出超汽化冷却水道，进出的冷却水管与超汽化冷却水道连通，形成冷却水道，靶板与返流板对接焊形成封闭式V型锐角结构，等离子体打击点在靶板和返流板之间灵活调整和控制，满足了等离子体位形灵活性需求。在封闭式V型锐角结构焊接区域，在热沉的铬锆铜

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112927823 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 202110255401.1 (22)申请日 2021.03.09 (71)申请人中国科学院合肥物质科学研究院

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