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本发明涉及晶片设备技术领域，具体涉及一种石英晶片排片用柔性夹具，包括底壳，还包括控制器、升降机构、滑动机构和夹取机构，升降机构包括升降板和升降组件，夹取机构包括夹取组件和连杆组件，所述滑动机构包括滑块和滑动组件，所述升降组件、夹取组件、连杆组件和滑动组件均与控制器为电性连接，本发明的一种石英晶片排片用柔性夹具，取代了现有石英晶片的人工排片方式，提高了工作效率，同时防止人工排片时造成的污染，柔性的夹具设计，也有效防止了人工排片时由于力度过大造成的晶片损坏，并且通过升降组件满足了不同工作平面的排片要
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112936295 A
(43)申请公布日
2021.06.11
(21)申请号 20191
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