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本发明公开了一种新型高能激光光束质量测量装置,属于光电检测领域,包括待测激光光源,还包括高灵敏度线阵CCD、成像镜头、瑞利散射体、高精密电动转台、高精密电动转台运动控制器及计算机;本发明的高能激光光束质量测量装置,在实现高能激光光束质量测量的过程中,将降低现有检测装置的系统复杂度,且提升光束质量测量装置的测量量程,解决目前百千瓦级高能激光光束质量测量难题,同时具备实时在线测量特性,能够很方便的嵌入到工业高能激光加工系统及高能激光武器中。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112924024 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 202110268318.8 G01J 1/04 (2006.01)
(22)申请日 20
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