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本公开提供了一种电热微镜驱动器失配矫正系统,包括:光源,光源用于向设置在光源正上方的电热微镜发出光线,电热微镜对来自光源的光线进行反射,形成反射光线;多个光电探测器均匀地设置在光源的周围,多个光电探测器分别对电热微镜形成的反射光线进行探测,生成多个电流信号;矫正电路同时接收多个电流信号,将多个电流信号转换为多个电压信号,获取多个电压信号中的最大值与最小值的差值,至少基于差值生成矫正电信号,矫正电信号能够被发送至电热微镜的至少一个驱动器,以对至少一个驱动器的驱动电压进行矫正。本公开还提供了一种电热
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112928004 B
(45)授权公告日 2022.03.18
(21)申请号 202110200668.0 H01J 37/28 (2006.01)
(22)申请日
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