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本发明公开了一种工艺建模整合系统,包括:工艺流程导入模块,用于导入工艺流程各步骤和/或所述各步骤的参数结构;系统逻辑验证模块,用于验证所述各步骤的完整性和正确性;关联人定义模块,用于定义技术参数导入的多个关联人和/或验证的多个确认人;技术参数导入和验证模块,用于导入技术参数并验证所述技术参数是否完整和正确;数据整合模块,用于对验证通过的所述各步骤的所述技术参数进行整合;输出模块,用以将所述数据整合模块输出的数据输出至建模系统。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112926204 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 202110205031.0
(22)申请日 2021.02.24
(71)申请人 上海华力集成电路制造有限公司
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