- 1、本文档共9页,其中可免费阅读8页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种封闭式挡板结构,所述挡板结构包括挡板、观察筒、支撑架和驱动机构,所述挡板为一底端开口顶端密闭的筒形结构,所述挡板的侧壁上设有一开孔,所述开孔连接所述观察筒一端,所述观察筒固定于所述支撑架上,所述驱动机构的动力输出端连接至所述支撑架上,驱动所述支撑架升降和转动。本发明的挡板结构应用于电子枪镀膜装置上后,能够在膜料预熔时将蒸发源完全封闭,避免了坩埚周边的严重脏污和基片被污染的情况,且本挡板结构上还设有观察筒,可在挡板扣下时实时对膜料的熔料状况进行观察。本发明用于双电子枪的镀膜设备时,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112921279 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 202110373738.2
(22)申请日 2021.04.07
(71)申请人 深圳市三束镀膜技术有限公司
文档评论(0)