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本发明提供了一种光阻供应系统,包括光阻瓶、瓶口接头、插管、监测装置,所述插管穿过所述瓶口接头伸入所述光阻瓶内,且所述插管的H可调节,所述H为所述插管的底端相对于所述光阻瓶的底部的最大高度,所述监测装置用于监测所述H的调节情况并发出对应的信号指示。可见,本发明通过设置监测装置实现对插管高度调节的实时监测,并发出对应的信号指示,以提示工作人员及时准确地调节插管高度,从而增加光阻单瓶利用率,避免光阻浪费,减少生产成本,另外,还可以避免出现插管负压引起的机台报警情况。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112925170 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 202110117648.7
(22)申请日 2021.01.28
(71)申请人 上海华力微电子有限公司
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