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本发明提供一种检测方法，在衬底上依次形成第一绝缘层、第一栅极层和第一覆盖层，第一覆盖层的高度根据待测晶圆的预设层的第二栅极层上的第二覆盖层确定，第一覆盖层和第二覆盖层材料相同，第一栅极层和预设层的第二栅极层材料相同，第一覆盖层中的第一通孔和第二覆盖层中的第二通孔利用相同刻蚀参数刻蚀得到；通过第一通孔贯穿第一栅极层确定第二通孔贯穿预设层的第二栅极层。通过在衬底上模拟待测晶圆的预设层的第二栅极层以及预设层的第二栅极层上的第二覆盖层，通过第一覆盖层中的第一通孔的蚀刻情况确定待测晶圆的第二覆盖层中的第二
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112928038 B
(45)授权公告日 2022.06.17
(21)申请号 202110097612.7 (56)对比文件
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