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本发明公开了一种硅片打包装置，所述硅片打包装置包括环境保持组件和打包件，所述环境保持组件包括壳体、固定在所述壳体内的仓体、供气件、吸气件和第一输送装置，所述仓体的两端设置有进料口和出料口，所述第一输送装置穿过所述仓体，所述第一输送装置上能够放置多个片盒，所述供气件将过滤后的空气输送至所述仓体内，所述吸气件吸收所述仓体内的空气，所述打包件的进口连接所述仓体的出料口，所述打包件能够打包所述出料口输出的所述片盒。本发明提供的硅片打包装置能够有效避免提供给客户的硅片颗粒物超标。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112918806 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 202110121136.8
(22)申请日 2021.01.28
(71)申请人 西安奕斯伟硅片技术有限公司
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