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一种局部正弦辅助的光栅尺测量误差自适应补偿方法.pdfVIP

一种局部正弦辅助的光栅尺测量误差自适应补偿方法.pdf

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    本申请公开了一种局部正弦辅助的光栅尺测量误差自适应补偿方法，通过正弦信号叠加到所述光栅尺的原测量误差信号中，重构光栅尺的测量误差信号，抑制了模态混叠现象。通过经验模态分解得到多个IMF分量，通过对IMF分量进行奇异值分解后，基于预设的自适应IMF筛选条件进行阈值变换，选择符合条件的IMF分量作为趋势误差分量，再获得总趋势误差分量对光栅尺进行补偿，从而消除了光栅尺的测量误差的基本趋势，有效地提高了光栅尺的测量精度，提高了测量误差补偿的准确性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112923847 B (45)授权公告日 2022.03.18 (21)申请号 202110082440.6 CN 110151175 A,2019.08.23

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