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扫描速度动态变化的SEM引导的AFM形貌扫描方法.pdfVIP

扫描速度动态变化的SEM引导的AFM形貌扫描方法.pdf

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    本发明公开了一种利用从扫描电子显微镜(SEM)图像中提取的形貌信息来确定原子力显微镜(AFM)图像在样品上每个采样点或每个区域的扫描速度的方法。该方法包括对扫描电镜图像进行处理，提取可能的形貌特征并生成特征度量图，将特征度量图转换为AFM扫描速度图，并根据扫描速度图进行AFM扫描。该方法可使AFM扫描在形貌特征较少的区域具有较高的扫描速度，而在形貌特征丰富的区域具有较低的扫描速度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112955996 A (43)申请公布日 2021.06.11 (21)申请号 201880095092.2 (74)专利代理机构 苏州市中南伟业知识产权代

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