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本发明涉及质量分析装置。配设在第1中间真空室内的离子导向器(20)包含6根杆电极(211~216)与电压生成部。为使6根杆电极(211~216)在离子的入射侧为六极的配置并且4根杆电极(211、214、215、216)成为四极的配置,使2根杆电极(211、214)以随着在离子的输送方向上行进而靠近中心轴(201)的方式相对于Z轴倾斜配设。电压生成部相对于6根杆电极(211~216),对在中心轴(201)的周围相邻的杆电极彼此施加相位相互反转的高频电压±Vcosωt,并对4根杆电极(211、214
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112955998 A
(43)申请公布日 2021.06.11
(21)申请号 201880099060.X (51)Int.Cl.
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