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本发明提供了一种多光束合束调节装置,所述调节装置包括基准光源、第一光源、第二光源、第三光源、第四光源、基准光源单模保偏光纤、第一单模保偏光纤、第二单模保偏光纤、第三单模保偏光纤、第四单模保偏光纤、基准光源单模保偏光纤准直器、第一光纤准直器、第二光纤准直器、第三光纤准直器、第四光纤准直器、第一镜片、第二镜片、第三镜片、第四镜片、线性位移台、探测器以及计算机;本发明还提供了一种多光束合束调节方法。本发明可实现空间多束光姿态和位置的快速调整,光束重合度可达亚微米量级。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112925064 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 202110092740.2
(22)申请日 2021.01.22
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
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