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2023-06-10 发布于四川
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本公开提供一种静电吸盘和基板固定装置，其中，正电极和负电极在气孔附近隔着第一间隙彼此面对，正电极和负电极隔着第一路径和第二路径彼此面对，气孔介于第一路径和第二路径之间，并且正电极和负电极在气孔附近隔着第二间隙彼此面对。第一路径和第二路径在第一端处会聚成第一间隙，并且在第二端处会聚成第二间隙。在第一端和第二端处，由正电极和负电极形成的角部被倒圆。在除了角部之外的第一路径中，气孔与正电极之间的第一距离是恒定的。在除了角部之外的第二路径中，气孔与负电极之间的第二距离是恒定的。第一距离和第二距离相同。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112951754 A (43)申请公布日 2021.06.11 (21)申请号 202011456661.7 (22)申请日 2020.12.10 (30)优先权数据 2019-2227

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