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2023-06-10 发布于四川
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偏移状态检测方法及偏移状态检测装置.pdf

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本发明提供一种偏移状态检测方法及偏移状态检测装置，其中，偏移状态检测方法用于检测晶片相对于工艺腔室内的承载部件的偏移状态，包括：在当前工艺结束后，基于传输部件将晶片从工艺腔室中传出；在传输部件将晶片传输至后续工艺腔室的过程中，基于后续工艺腔室对应的检测组件，获取晶片的实际位置相对于传输部件上预设位置的偏移量；根据预设的偏移量和偏移状态的对应关系，确定晶片相对于承载部件的偏移状态。本发明提供的偏移状态检测方法及偏移状态检测装置能够对晶片与工艺腔室内的承载部件的容纳结构是否搭接进行检测，降低半导体设

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112928040 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 202110185113.3 (22)申请日 2021.02.10 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

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