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一种对准标记选择方法、装置、设备、光刻系统及介质.pdfVIP

一种对准标记选择方法、装置、设备、光刻系统及介质.pdf

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    本申请实施例公开了一种对准标记选择方法、装置、设备、光刻系统及介质。该方法包括：将基板中设置的设定数量的对准标记作为染色体，并构建包含多个染色体的种群；根据种群中各染色体中的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度；根据所述种群中各染色体的适应度，从所述种群中选择目标染色体，并将目标染色体包括的对准标记作为对准标记组，用于对所述基板进行处理。上述技术方案通过基于基板中的对准标记作为染色体构建种群，并通过对准标记的位置信息对种群中的染色体进行筛选，从而确定后续对基板进行

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112947006 A (43)申请公布日 2021.06.11 (21)申请号 20191

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