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本发明提供一种检测工序的智能抽样方法,用于将具有第一抽样率和第一标记的第一检测项目和具有第二抽样率和第二标记的第二检测项目进行抽样整合,所述第一抽样率低于所述第二抽样率,包括:在进行所述第一检测项目的产品上打上第三标记,按所述第一抽样率对具有第三标记的产品同时进行第一检测项目和第二检测项目的检测,以及按所述第二抽样率对具有所述第二标记的产品进行所述第二检测项目的检测。本发明可以减少将具有不同抽样率的检测项目整合到一起带来的产能损失或质量管控的风险,且可以有效管控检测站点堆货导致的无法及时在线监测
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112951736 A
(43)申请公布日 2021.06.11
(21)申请号 202110126243.X
(22)申请日 2021.01.29
(71)申请人 中芯集成电路制造(绍兴)有限公司
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