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一种高模量低热膨胀系数的聚酰亚胺薄膜及其制备方法。本发明提供的聚酰亚胺薄膜的制备方法，将苯酯基链段引入聚酰亚胺的主链结构中，通过改变苯酯基在聚酰亚胺主链结构中的相对含量实现对其热膨胀系数的调控，得到拉伸模量高、热膨胀系数低的聚酰亚胺基膜材料，其50℃～200℃下热膨胀系数与金属层膜材料相接近，介于1ppm/℃至20ppm/℃之间，拉伸模量大于4.5GPa。本发明采用得到的聚酰亚胺薄膜制成的基板柔韧性好、抗弯折变形、使用寿命长。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112920602 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 202110113426.8 H01L 23/14 (2006.01)
(22)申请日 2
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