有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共17页，其中可免费阅读16页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明实施例提供一种集成电路结构的形成方法，包括：提供第一图案和待修正图案，所述第一图案包括相间隔的第一子图案和第二子图案，所述待修正图案位于所述第一子图案与所述第二子图案之间，所述第一图案与所述待修正图案之间具有预设水平距离；提供修剪掩膜，所述修剪掩膜具有预设区域，在包含所述待修正图案的平面内，所述预设区域的第一正投影与所述待修正图案重合，第二正投影位于所述待修正图案一侧，且水平长度大于等于两倍的所述预设水平距离；通过所述修剪掩膜进行曝光工艺，以形成目标图案。本发明实施例有利于准确修剪待修正图
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112951712 A
(43)申请公布日 2021.06.11
(21)申请号 202110128716.X
(22)申请日 2021.01.29
(71)申请人 长鑫存储技术有限公司
您可能关注的文档
- 感性耦合组件、腔体滤波器和通信射频设备.pdf
- 一种金属镁负极材料及其制备方法与应用.pdf
- 一种自平衡大跨度深基坑预应力梁系统.pdf
- 一种激光非致命武器致伤评估方法.pdf
- 自动放花装置和刺绣机.pdf
- 电子部件.pdf
- 一种设备支撑底座.pdf
- 一种用于液体灌装的装置.pdf
- 一种用于桶装水定量存储装置、桶装水灌装设备.pdf
- 一种带有报警机构的物联网摄像头.pdf
- 液氨项目可行性研究报告 .pdf
- 河南省初中生物七年级上册第一单元生物和生物圈知识汇总笔记 .pdf
- 河南省2020年九年级下学期化学期中考试试卷(I)卷 .pdf
- 游茶园感想——精选推荐 .pdf
- 河南省鹤壁市九年级下学期期中化学试卷(五四学制) .pdf
- 湖北省黄石市阳新县部分学校2023-2024学年九年级下学期期中联考化学试 .pdf
- 注塑机工程项目经济分析 .pdf
- 河南省固始县联考2022-2023学年化学九年级第一学期期中调研试题含解析.pdf
- 洛阳师范学院信息技术学院12级电子商务一班先锋杯团日活动策划书.pdf
- 河北省2021年中考化学 框图推断题解题方式及专题训练(1) .pdf
文档评论（0）