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本发明公开了一种太阳能光伏晶片蚀刻装置,包括防护机构、循环机构和喷淋机构,所述防护机构包括防护箱、防腐板、限位槽和防护门,所述循环机构包括集水箱、液位传感器、控制器、排水管、阀门、循环管道、过滤罩、设备箱、循环泵和盖板,所述集水箱的上方设置有储物机构,所述集水箱的右侧底部连接有排水管,所述集水箱的左侧内壁上设置有液位传感器,所述设备箱设置在防护箱的左侧,所述循环泵的底端与循环管道连接。该太阳能光伏晶片蚀刻装置,设置有电动伸缩杆,两侧的电动伸缩杆可通过限位卡环带动多孔蚀刻箱在集水箱内的蚀刻液中进行
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112928046 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 202110087070.5
(22)申请日 2021.01.22
(71)申请人 徐州中辉光伏科技有限公司
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