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2023-06-10 发布于四川
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光伏电池双向进气钝化沉积装置.pdf

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本发明公开了一种光伏电池双向进气钝化沉积装置，具有一个主机室，主机室内至少具有一个工艺腔室，工艺腔室的一端为炉口端，另一端为封闭的炉尾端，在工艺腔室靠近炉口端的位置上设有第一进气口，在工艺腔室靠近炉口端的位置上设有第一出气口，在工艺腔室靠近炉尾端的位置上设有第二进气口，在工艺腔室靠近炉尾端的位置或者炉尾上设有第二出气口。本发明采用了双向交替的进气方式生长氧化铝膜，可以把氧化铝膜的均匀性大幅提高，在金字塔绒面结构下氧化铝膜的均匀性同样可以控制在3%以内，可以把氧化铝膜更强的场钝化效果发挥出来，降低

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112921302 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 202110087980.3 (22)申请日 2021.01.22 (71)申请人无锡松煜科技有限公司

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