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本发明提供了一种甲基丙烯酸六氟异丙酯的制备方法，该方法包括：将1份六氟异丙醇与1.5‑4份缚酸剂、2‑4份有机溶剂加入到反应瓶内，混合均匀；向所述反应瓶中增加阻聚剂；将2‑2.5份甲基丙烯酰氯滴加到所述反应瓶内，预设温度下进行酯化反应；反应结束后，将反应液分离纯化得到甲基丙烯酸六氟异丙酯。本发明还提供一种甲基丙烯酸六氟异丙酯。本发明中的甲基丙烯酸六氟异丙酯的制备方法，得到高纯度的甲基丙烯酸六氟异丙酯产物，经效液相色谱仪检测，产物的纯度大于99.5％，金属离子杂质在100ppb以下，满足半导体行业
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112920046 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 202110103526.2
(22)申请日 2021.01.26
(71)申请人 宁波
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