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本发明公开了一种区熔硅单晶的收尾方法,包括以下步骤:(1)当多晶尾料剩余10kg时,继续保持等径生长,直至多晶尾料剩余2kg时,均匀降低多晶尾料速度直至多晶尾料速度归零后快速提断,晶体拉速和加热功率保持不变,此过程单晶直径将缓慢减小;(2)当多晶尾料提断后,保持多晶尾料向提拉的方向移动,开启自动程序控制加热功率曲线和晶体拉速曲线,功率曲线先均匀快速地下降至初始功率值的75%‑85%,再缓慢均匀增加,最高不超过初始功率值;晶体拉速匀速降低至0,直至单晶熔体完全结晶后停炉冷却即可。本发明的方法可将单
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112941615 B
(45)授权公告日 2022.05.20
(21)申请号 201911262992.4 (51)Int.Cl.
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