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本发明提供了一种基于SURF特征点匹配法的MEMS面内动态特性分析方法,包括如下步骤:S1、在其中一帧图像上,选取并绘制特征点;S2、对相邻的两帧图像进行特征匹配对匹配;S3、进行特征匹配对的选取,用于筛除误匹配对;S4、进行相邻帧间位移的计算;S5、选取合适的minHessian阈值。本发明所述的基于SURF特征点匹配法的MEMS面内动态特性分析方法利用亚像素级定位算法进行面内位移的计算,在保持结果精度的前提下,使得抗干扰能力大幅提升、计算时间大幅度减少,有利于MEMS器件的指导设计制造、产品
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112926597 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 202110224370.3
(22)申请日 2021.03.01
(71)申请人 天地伟业技术有限公司
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