有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共13页，其中可免费阅读12页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请实施例提供了一种膜层生长方法、装置、设备及系统，可以利用第一站点在待处理晶圆上形成待成膜材料的晶种，利用第二站点在形成有晶种的待处理晶圆上形成待成膜材料的低温膜层，利用第三站点对形成有低温膜层的待处理晶圆进行ICE处理，利用第四站点在低温膜层上形成待成膜材料的高温膜层，这样相比于传统技术中利用第一站点生成晶种和低温膜层，减少了第一站点的工作时间，相比于传统技术中利用第二站点、第三站点和第四站点来形成高温膜层，减少了高温膜层的工作站点数量，利于控制同时减少生长时间，因此可以提高膜层生长效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112951763 B
(45)授权公告日 2022.03.29
(21)申请号 202110099121.6 (56)对比文件
(22)申请日 2021.01.25
文档评论（0）