一种延长石墨坩埚使用寿命的方法.pdfVIP

一种延长石墨坩埚使用寿命的方法.pdf

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本发明公开了一种延长石墨坩埚使用寿命的方法,该方法包括对石墨坩埚进行以下加工设计:预先将相邻两个石墨坩埚瓣的接缝位置处的坩埚内壁加工出凹槽,在该凹槽内设置可拆卸的石墨保护条,该石墨保护的尺寸与该凹槽的尺寸匹配;石墨坩埚使用一段时间后,将石墨条取下,如有损耗,进行更换。石墨坩埚与石墨保护条的组装方式为:分别在石墨坩埚瓣侧边缘的上端位置开设插孔,所述石墨保护条的一侧具有与石墨坩埚内壁匹配的弧形面,该石墨保护条的上端向另一侧面方向突出,并在该突出的部分下端设有两个插接棒,该两个插接棒分别插入相邻两个石

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112941618 A (43)申请公布日 2021.06.11 (21)申请号 20191

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