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本发明提供一种针对固液激光器冷却液中固态颗粒污染物的成份鉴定方法，包括：收集固液激光器中冷却液中固体颗粒，对其进行干燥操作后制成待测样品薄片；利用光电子能谱仪对所述样品薄片进行光电子能谱测试，获得样品所含特定元素特征电子能级结合能信息；提取特定元素特征峰位结合能信息，进行固态颗粒污染物组成成份的分析鉴定。本发明利用X射线光电子能谱对固液激光器冷却液中固态颗粒污染物成份进行检测与鉴定，操作过程简单，利于在相关研究中广泛推广。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112946001 A
(43)申请公布日
2021.06.11
(21)申请号 20191
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