一种电动真空挡板阀及具有其的真空设备.pdfVIP

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2023-06-10 发布于四川
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一种电动真空挡板阀及具有其的真空设备.pdf

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本发明涉及真空设备领域，具体涉及一种电动真空挡板阀及具有其的真空设备。一种电动真空挡板阀，包括：阀体、隔板、阀芯组件、电磁推块、顶针、步进电机、控制电路板。步进电机拖动阀芯组件旋转使挡板上下移动，挡板设有第二橡胶圈，当向下移动第二橡胶圈与阀体第二密封面抵接时，第一法兰接口与第二法兰接口被隔断，电动真空挡板阀关闭。向上移动第二橡胶圈与阀体第二密封面分离时，第一法兰接口与第二法兰接口连通，电动真空挡板阀开启。本电动真空挡板阀采用步进电机作为驱动元件，有效的解决传统技术的噪音大，振动大，能耗浪费大的缺

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112923073 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 202110385866.9 (22)申请日 2021.04.11 (71)申请人张琳地址 1022

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